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洁净烘箱,无尘烤箱使用注意事宜

来源:上海隽思仪器半导体设备事业部2022/5/24 7:53:034300
导读:

洁净烘箱,无尘烤箱安装地点要求:
1,需要水平整洁的地面;
2,不要暴露在易燃或腐蚀性气体下(特殊烤箱除外);
3,尽量避免阳光直射,环境温度不能过高(小于40)。
洁净烘箱,无尘烤箱电源安装要求:
1, 请依电器铭板上所订之电源规格接电;
2, 电压变动率必须在额定值±5%内;
3, 为避免意外发生,机台本身必须接地 (依电工法规接地法实施对地电阻(100Ω以下);
4, 不可将绿色接地线接至瓦斯或水管上;
5, 不可将有漏电断路器烤箱与无此装置烤箱共用接地线路。

洁净烘箱,无尘烤箱操作要求:
1,氮气口:操作前应将氮气接通本机之氮气口,特别注意在接通前必须先将N2压力调节至合适的流量值。 
2,将烘烤物置入箱内后须将门面关闭,门扣确实扣紧后,门面安全开关有作用,机台才能顺利启动。
3,烘箱后方之冷却排风口,请接至排气系统冷却时有高温,接管须加保温隔热以防员烫伤或影响工作环境。

洁净烘箱,无尘烤箱维护要求:
1, 清洁表面灰尘,保持机器干净、卫生; 
2, 检查通风口是否堵塞,并清理积尘,风机运转是否正常; 
3, 突然停电,要把加热开关关闭,防止来电时自动启动; 
4, 维修工检查电流是否正常,检查线路及开关是否正常;

5, 特别注意压差计的压力值,确认HEPA过滤器的过滤效果。

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