工业有机废气净化器又称低温等离子废气净化器。本工艺在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。
低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。
工业有机废气净化器工作原理
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
1. 电场+电子→高能电子
2. 高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团
3. 活性基团+分子(原子)→生成物+热
4.活性基团+活性基团→生成物+热
从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
为环境污染处理领域中的一项具有潜在优势的*，等离子体受到了国内外相关学科界的高度关注。
工业有机废气净化器是一种新型的干法处理有机废气的净化设备，它改变了使用活性炭材料的工艺技术，无需再生处理原料，无需专人负责，无产生二次污染，更换及维护保养方便，运行成本低廉，是有机废气治理较的一项技术。
工业有机废气净化器的系统优势：
1、机器设备工作时，实现自动控制。
2、具备一次性地净化率，能同时净化各种污染物
3、防火性能选用开关，电源，电路三重全自动保障
4、机器设备体积小，结构紧凑，工艺成熟
5、机器设备投资少，运行低成本
6、安全稳定，维护保养方便，使用期长
7、净化率高，无二次污染